Государственный Комитет Российской Федерации по Высшему Образованию Санкт-Петербургский Государственный Электротехнический Университет "ЛЭТИ" Кафедра Микроэлектроники Реферат "Гальванотехника и ее Применение в Микроэлектронике"
     Студент: Чапчаев В.В. Факультет: РТ Уч.группа: № 2142 Преподаватель: Марголин В.И. Санкт - Петербург 2 0 0 3 Содержание Введение ...................................................................... 3 Электрохимическая обработка металлов ................... 3 Электрохимическое обезжиривание .......................... 4 Электрохимическое травление .................................. 4 Электрохимическое полирование .............................. 5 Электрохимическое осаждение ................................. 6 Нанесение на поверхность изделий металлических покрытий ..................................................................... 6 Меднение ................................................................. 7 Никелирование ......................................................... 8 Оловынирование ...................................................... 8 Серебрение ............................................................... 8 Оборудование для нанесения гальванических покрытий ..................................................................... 9 Применение гальванотехники в микроэлектронике ... 10 Удаление загрязнений с поверхности подложек ......... 10 Электрохимическое нанесение пленок ....................... 13 Изготовление печатных плат электрохимическим методом ........................................................................ 16 Гальваническое меднение .......................................... 17 Гальванические покрытия .......................................... 19 Заключение ................................................................... 22 Список литературы ...................................................... 23 Введение
    
    Гальванотехника - процесс получения на поверхности изделия или основы (формы) слоев металлов из растворов их солей под действием постоянного электрического тока.
    Электролитический или гальванический метод нанесения металлических покрытий был разработан в середине XIX века, но не сразу получил сколько-нибудь значительное промышленное применение - этому препятствовало отсутствие мощных источников постоянного тока.
    Сущность метода заключается в погружении покрываемых изделий в водный раствор электролита, главным компонентом которого являются соли или другие растворимые соединения - металлопокрытия. Покрываемые изделия контактируют с отрицательным полюсом источника постоянного тока, т.е. являются катодами. Анодами обычно служат пластины или прутки из того металла, которыми покрывают изделия. Они контактируют с положительным полюсом источника постоянного тока и при прохождении электрического тока растворяются, компенсируя убыль ионов, разряжающихся на покрываемых изделиях.
    Наряду с электрохимическим методом катодного осаждения металлов широкое применение находят и анодные методы электрохимической обработки поверхности металлов. К ним следует отнести электрохимическое оксидирование, травление, полирование и др. Во всех анодных процессах происходит либо растворение металла, либо превращение поверхностного слоя металла в оксидный или другой слой.
     Электрохимическая обработка металлов.
    Электрохимическая обработка это ряд методов, предназначенных для придания обрабатываемой металлической детали определенной формы, заданных размеров или свойств поверхностного слоя.
    Электрохимическая обработка осуществляется в электролизерах (электролитических ваннах, электрохимических ячейках специальных станков, установок), где обрабатываемая деталь является либо анодом )анодная обработка), либо катодом (катодная обработка), либо тем и другим попеременно.
    Электрохимическое обезжиривание.
    
    Электрохимическое обезжиривание (процесс удаления жиров и масел с поверхности изделия) может происходить на катоде, на аноде и может быть комбинированным - на катоде с последующим кратковременным переключением на анод. ............