| Название: | Литография высокого разрешения в технологии полупроводников |
| Просмотров: | 114 |
| Раздел: | Наука и техника |
| Ссылка: | Скачать(142 KB) |
| Описание: | Основы оптики. Контактная печать и печать с зазором. Проекционная печать. Совмещение. Фотошаблоны. Перспективы развития фотолитографии. |
|
