| Название: | Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании |
| Просмотров: | 107 |
| Раздел: | Химия |
| Ссылка: | Скачать(184 KB) |
| Описание: | 1. Рассчитать распределение примесей вдоль слитка полупроводникового материала при очистке зонной плавкой (один проход расплавленной зоной). материал кремний примеси - Ga,P и Sb исходное содержание примесей (к |
|
