МІНІСТЕРСТВО ОСВІТИ ТА НАУКИ УКРАЇНИ
ХЕРСОНСЬКИЙ НАЦІОНАЛЬНИЙ ТЕХНІЧНИЙ УНІВЕРСИТЕТ
КАФЕДРА ТЕХНОЛОГІЇ МАШИНОБУДУВАННЯ
ДИПЛОМНИЙ ПРОЕКТ СПЕЦІАЛІСТА
Вдосконалення блока керування та конструкції реактора установки вакуумного напилення
ПОЯСНЮВАЛЬНА ЗАПИСКА
090.212 Електронне машинобудування
Виконавець: _____________
Керівник:
старший викладач ___________
Консультанти:
з економіки та організації виробництва:
старший викладач __________
з техніки безпеки та охорони праці:
старший викладач __________
Нормо контролер:
Старший викладач _________
Допущено до захисту «______»___________________
Завідувач кафедри:
д.т.н. професор _____________
РЕФЕРАТ
В дипломном проекте по теме “Усовершенствование блока управления и конструкции реактора установки вакуумного напыления” усовершенствована схема блока управления и устройство поворота заслонки в вакуумной камере с целью обеспечения большей эффективности, надёжности, простоты и удобства обслуживания и управления процессом напыления.
Данный проект состоит из следующих разделов:
1.Технологии вакуумного напыления и оборудование для нанесения тонких слоев и плёнок.
Рассмотрены: различные методы напыления и физические основы нанесения тонких пленок, основные требования и системы оборудования для нанесения тонких плёнок, элементы вакуумных систем и устройство вакуумных камер для получения тонких плёнок.
2.Усовершенствование установки вакуумного напыления.
Рассматривается конструкция и принцип работы лабораторной установки вакуумного напыления, усовершенствования и разработка 3-х канального блока управления током нагрева испарителей и подогревателя подложки, расчёт силового трансформатора, а также изменения принципа поворота заслонки с помощью поворотного устройства через вакуумное уплотнение.
3.Экономическая часть
Содержит экономическое обоснование разработки установки вакуумного напыления.
4.Охрана труда и техника безопасности.
Проводится анализ условий труда и расчет защитного заземления для данной установки.
Также в дипломный проект входит графическая часть из 8-ми чертежей формата А-1
СОДЕРЖАНИЕ
ВВЕДЕНИЕ
1. ТЕХНОЛОГИИ ВАКУУМНОГО НАПЫЛЕНИЯ И ОБОРУДОВАНИЕ ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ТОНКИХ СЛОЁВ И ПЛЁНОК
1.1. Физические основы нанесения тонких плёнок в вакууме
1.1.1. Термическое вакуумное напыление
1.1.2. Катодное распыление
1.1.3. Ионно-плазменное напыление
1.2. Вакуумные системы и их элементы
1.2.1. Основные требования, предъявляемые к вакуумным системам.
1.2.2. Вакуумные системы оборудования для нанесения тонких плёнок
1.2.3. Элементы вакуумных систем
1.3. Устройство вакуумной камеры для получения тонких плёнок термическим испарением
2 УСОВЕРШЕНСТВОВАНИЕ БЛОКОВ УСТАНОВКИ ВАКУУМНОГО НАПЫЛЕНИЯ
2.1. Конструкция и принцип работы лабораторной установки вакуумного напыления
2.1.1. Блок-схема
2.1.2. Принципиальная схема вакуумной системы
2.1.3. Устройство вакуумной системы.
2.1.4. Структура электрической схемы базовой установки
2.2. Модернизация электрической схемы установки вакуумного напыления
2.2.1. ............
