Кабардино - Балкарский Государственный Университет
    
    
    
    
    
    
    
    
    
    Курсовая работа
    
    
    
    
    Тема: "Выращивание профильных монокристаллов кремния методом Степанова."
    
    
    
    
    
    
    
    Выполнил: Ульбашев А.А.
    
    Проверил:
    
    
    
    
    
    
    
    
    
    
    
    
    
    
    
    
    
    
    
    
    
    
    
    Нальчик 2000г.
    
    Задание.
     1.Описать Метод.
    
    а - Теоретические основы формообразования.
    б - Технологические особенности.
    в - Конструктивные особенности.
    
     2.Область применения ПРОФИЛЬНО выращенных Монокристаллов. 3.Расмотреть на примере кремния.
    
    
    
    КВАЗИРАВНОВЕСНАЯ КРИСТАЛЛИЗАЦИЯ
    С ФОРМООБРАЗОВАНИЕМ МЕНИСКА РАСПЛАВА
    (СПОСОБ СТЕПАНОВА)
     a Теоретические основы формообразования.
    Принципиальная основа и методика получения фасонных изделий из металлов и полупроводников с использованием различных эффектов (сил поверхностного натяжения, тяжести, электромагнитного взаимодействия, гидродинамических явлений и т.п.), формирующих мениск расплава в процессе вытягивания кристалла, разработаны чл.-корр. АН СССР А. В. Степановым'.
    Жидкость может принимать определенную форму не только с помощью стенок сосуда, но и вне сосуда, в свободном состоянии. На этом основано формообразование профилированных кристаллов, принцип которого сформулирован А. В. Степановым : форма или элемент формы, которую желательно получить, создается в жидком состоянии за счет различных эффектов, позволяющих жидкости сохранить форму; сформированный так объем жидкости переводится в твердое состояние в результате подбора определенных условий кристаллизации.
    А. В. Степанов предложил, например, формировать мениск при помощи специальных формообразователей. помещаемых в расплав так, чтобы мениск расплава приподнимался над щелью в поплавке, лежащем на поверхности расплава в тигле и изготовленном из материала, не смачиваемого расплавом. Для формообразования мениска можно применять также электромагнитное поле высокочастотного индуктора.
    Таким образом, формообразующее устройство в общем случае представляет собой довольно сложный комплекс элементов. Оно позволяет управлять формой, геометрией, тепловым состоянием столба расплава и вытягиваемого кристалла, а также распределением примеси в кристалле. Твердый формообразователь характеризуется физическими свойствами материала, из которого он изготовлен (его смачиваемостью, плотностью, теплопроводностью, теплоемкостью), а также конфигурацией (форма отверстия или щели, глубина отверстия, форма. ............