Московский Государственный Открытый Университет Факультет информатики и радиоэлектроники Кафедра электронных приборов. Пояснительная записка по дисциплине "Технология производства полупроводниковых приборов" на тему: "Безкорпусная герметизация полупроводниковых приборов" специальность 200300 /С Студента: Иванова С.М.
    шифр № 696823
    заочная форма обучения Преподаватель: Кротов В.В. 2000 Содержание. Введение. 2 Методы защиты р-п-переходов полупроводниковых кристаллов и пластин. 7 Защита поверхности p-n-переходов лаками и эмалями 8 Эпоскидные смолы. 13 Компаунды на основе эпоксидных смол. 19 Защита поверхности p-n-переходов вазелином и цеолитами. 27 Защита p-n-переходов плёнками окислов металлов. 29 Защита поверхности p-n-переходов плёнками нитрида кремния. 32 Защита p-n-переходов легкоплавкими стеклами 37 Защита поверхности p-n-переходов силанированием. 42 Защита поверхности р-п-переходов окислением. 44 Очистка полупроводниковых приборов перед герметизацией. 50 Состояние и свойства поверхности полупроводников. 52 Методы очистки поверхности полупроводника. 54 Химическая и электролитическая отмывка полупроводников. 55 Отмывка в кислотах и щелочах. 59 Отмывка во фреонах. 60 Отмывка водой. 62 Отмывка в ультразвуковых ваннах. 64 Определение чистоты поверхности. 68 Контроль качества промывки. 73 Сушка деталей. 74 Контроль герметичности полупроводниковых приборов. 76 Описание технологического процесса. 78 Список используемой литературы. 82 Введение.
    
    Технология производства полупроводниковых приборов - это техническая наука, занимающаяся изучением физико-химических основ технологических процессов производства электронных прибор и закономерностей, действующих в процессе изготовления этих изделий.
    Использование результатов исследований фундаментальных наук и доведение их до инженерного решения применительно к производству изделий электронной техники позволяют разрабатывать новые технологические процессы для серийного и массового изготовления.
    Развитие прикладных наук в области получения чистых и сверх чистых материалов, нанесения покрытий, соединения различных материалов, электрофизических и электрохимических методов обработки способствовали совершенствованию полупроводниковой и плёночной технологии, особенно при производстве микросхем.
    Повышение качеств изделий требует высокой технологической точности и дисциплины производства, своевременного анализа и корректировки технологического процесса, построения оптимального технологического процесса.
    Повышению качеств и стабильности технологических процессов, обеспечивающих массовое производство изделий с воспроизводимыми параметрами, способствует внедрение автоматизированных систем управления с полным исключением человека-оператора и его субъективного влияния на ход технологического процесса.
    Создание высокопроизводительных машин и автоматических линий требует знания основ технологии производства, современных методов изготовления деталей и узлов, нанесения покрытий, получение электронно-дырочных переходов, сборки приборов и микросхем и т.п. ............