Федеральное агентство по образованию Российской Федерации

Новгородский государственный университет им. Ярослава Мудрого

Институт Электронных и Информационных систем

Кафедра «Проектирование и технология радиоаппаратуры»

Реферат по учебной дисциплине

«Физические основы функциональной электроники»

по теме: «Проектирование и технология радиоэлектронных средств»

2010

Содержание

Введение

1. Микроактюаторы

2. Законы пропорциональной миниатюризации

3. Критерии оценки микроактюаторов

4. Трение и износ

5. Различные типы микроактюаторов

6. Электростатические актюаторы

7. Магнитные актюаторы

8. Пьезоэлектрические актюаторы

9. Гидравлические актюаторы

10. Тепловые актюаторы

11. Изготовление МЭМС

12. Материалы для МЭМС

13. Технологии производства МЭМС

14. Применение МЭМС

Заключение

Список литературы

Введение

МикроЭлектроМеханические Системы или сокращенно МЭМС - это множество микроустройств самых разнообразных конструкций и назначения, производимых сходными методами с использованием модифицированных групповых технологических приемов микроэлектроники. Объединяет их два признака. Первый – это размер, второй – наличие движущихся частей и предназначение к механическим действиям. В мире они известны под аббревиатурой MEMS – MicroElectroMechanical Systems.

Это могут быть:

·  миниатюрные детали: гидравлические и пневмо клапаны, струйные сопла принтера, пружины для подвески головки винчестера;

·  микроинструменты: скальпели и пинцеты для работы с объектами микронных размеров;

·  микромашины: моторы, насосы, турбины величиной с горошину;

·  микророботы;

·  микродатчики и исполнительные устройства.

Некоторые из них уже производятся в мире многомиллионными тиражами, другие только разрабатываются и проходят испытания. С микроситемами связывают тот технологический рывок, который человечество совершит в 21 веке, им предрекают совершить такой же переворот, который совершила в 20 веке микроэлектроника.

Микротехнологии развиваются на основе научно-технологического задела микроэлектроники. Вместе с тем, микроэлектромеханические системы призваны активно взаимодействовать с окружающей средой. Кроме того, конструкции систем обладают выраженной трехмерностью. От классических механических систем их отличает размер – материалы в таком масштабе ведут себя несколько иначе, чем в объемном виде, хотя микросистемы еще подчиняются законам классической физики, в отличие от наносистем. Тем не менее классическая физика предсказывает для микроустройств особенные свойства. Все это требует ряда совершенно новых подходов к проектированию, изготовлению и материалам МЭМС. Новые задачи в проектировании связаны с необходимостью расчета и моделирования не только задач схемотехники и логики, но и совокупности проблем механики твердого тела, термоупругости, газо- и гидродинамики - порознь или одновременно появляющихся в изделии. Что касается материалов, то несмотря на то, что монокристаллический кремний - традиционный материал микроэлектроники - имеет ряд уникальных свойств, необходимы другие материалы с новыми сочетаниями электро-физико-механических свойств. Новые задачи технологии связаны с наиболее характерными отличиями микросистем от изделий микроэлектроники: если последние по существу двумерны и механически статичны, то микросистемы - это реальные трехмерные структуры, элементы которых должны иметь возможность относительного механического перемещения. ............