Федеральное агентство по образованию

Государственное образовательное учреждение

Высшего профессионального образования

Нижегородский государственный технический университет им. Р.Е. Алексеева

Кафедра Физика и технология материалов и компонентов электронной техники

Отчет по ознакомительной практике

РУКОВОДИТЕЛЬ

Воротынцев И. В.

Студент

Тюрина А.А.

О7—МТЭ—1

Содержание

1 История предприятия. 3

2. Структура предприятия. 7

3. Теоретическая часть. 9

3.1 Введение. 9

3.2 Получение тонких плёнок. 10

3.3 Формирование диэлектрических слоёв. 10

3.3.1 Осаждение тонких плёнок в вакууме. 11

3.3.2 Ионное (катодное), ионно-плазменное, магнетронное и ионно-термическое распыления. 11

3.4 Методы определения толщины плёнок. 15

3.4.1 Метод кварцевого вибратора. 15

3.4.2 Резистивный и ёмкостный методы.. 16

3.4.3 Метод эллипсометрии. 16

3.4.4 Ионизация молекулярного потока. 16

4. Практическая часть. 18

4.1 Технологические процессы напыления тонких плёнок. 18

4.2 Материалы, используемые для напыления резистивных плёнок. 18

4.3 Технические требования к технологическим процессам напыления. 19

4.4 Технические данные. 21

4.5 Принцип работы установки УВН-75П-1. 23

4.6 Схема установки УВН–75П–1. 24

4.7 Напыление слоёв хрома, меди на лицевую и обратную стороны подложки  25

4.8 Измерение удельного поверхностного сопротивления сплошных резистивных слоёв  27

Выводы.. 29

Список литературы.. 30

1 История предприятия

В 1946 году заводу № 197 поручается модернизация РЛС П-3, для чего создаётся специальная лаборатория под руководством Е. В. Бухвалова.

Официальной датой основания предприятия считается 30 сентября 1947 года, создаётся Специальное конструкторское бюро Государственного Союзного ордена Ленина завода № 197 (позднее – Горьковского телевизионного завода им. В. И. Ленина, ныне – ОАО "НИТЕЛ"). C 1966 года преобразуется в самостоятельное предприятие — КБ ГТЗ им. В. И. Ленина. В 1981 году переименован в Горьковский НИИ радиотехники (ГНИИРТ), в 1990 после переименования города Горького предприятие приобрело современное название. С 1999 года предприятию присвоен статус Федерального научно-производственного центра (ФНПЦ).

С 1947 по 1952 г. коллектив разработал 10 типов и модификаций радиостанций, одна из них отмечена Государственной премией. С 50-х гг. предприятие специализируется на разработке радиолокационных средств. После завершения в 1948 г. разработки РЛС П-3А на предприятии создаются первая отечественная РЛС П-8 (1950 г.) с индикатором кругового обзора и простейшей аппаратурой защиты от пассивных помех (СДЦ), РЛС П-10 (1951 г.) с перестройкой частоты, РЛС П-12 (1955 г.) с когерентно-компенсационной аппаратурой СДЦ, РЛС П-12М (1956 г.), первая высокопотенциальная РЛС П-14, РЛС П-12МП (1959 г.), П-12МА (1960 г.), автоматизированный радиолокационно-связной комплекс П-95 (1963 г.), РЛС П-12НП ( 1965 г.), П-14Ф (1966 г.), одна из первых в мире РЛС П-70 метрового диапазона волн с ЛЧМ зондирующим сигналом, АРЛСК П-96 (1968 г.), РЛС П-18 (1970 г.), РЛС 5Н84А (1974 г.) с корреляционным автокомпенсатором, первая отечественная трехкоординатная РЛС 5Н69 (1975 г.) дециметрового диапазона волн с частотным качанием луча, РЛС 44Ж6 (1979 г.), первая в мире подвижная трехкоординатная РЛС 55Ж6 метрового диапазона волн, РЛС 1Л13 (1982 г.).

3а 60 лет предприятием создано более 35 типов и модификаций РЛС. ............