МИНИСТЕРСТВО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
ОРЛОВСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ
Кафедра «ПТЭиВС»
КУРСОВАЯ РАБОТА
на тему: «Технология изготовления кристаллов полупроводниковых интегральных микросхем »
Дисциплина: «Материаловедение и материалы электронных средств»
Выполнил студент группы 31-Р
Козлов А. Н.
Руководитель Косчинская Е. В.
Орел, 2004
Содержание
Введение
Часть I. Аналитический обзор
1.1 Интегральные схемы
1.2 Требования к полупроводниковым подложкам 1.3 Характеристика монокристаллического кремния 1.4 Обоснование применения монокристаллического кремния 1.5 Технология получения монокристаллического кремния 1.5.1 Получение кремния полупроводниковой чистоты 1.5.2 Выращивание монокристаллов
1.6 Механическая обработка монокристаллического кремния
1.6.1 Калибровка 1.6.2 Ориентация 1.6.3 Резка 1.6.4 Шлифовка и полировка 1.6.5 Химическое травление полупроводниковых пластин и подложек
1.7 Операция разделения подложек на платы
1.7.1 Алмазное скрайбирование 1.7.2 Лазерное скрайбирование 1.8 Разламывание пластин на кристаллы Часть II. Расчет Заключение Список используемой литературы
Введение
Технология изготовления интегральных микросхем представляет собой совокупность механических, физических, химических способов обработки различных материалов (полупроводников, диэлектриков, металлов), в результате которой создается ИС.
Повышение производительности труда обусловлено в первую очередь совершенствованием технологии, внедрением прогрессивных технологических методов, стандартизацией технологического оборудования и оснастки, механизацией ручного труда на основе автоматизации технологических процессов. Значимость технологии в производстве полупроводниковых приборов и ИС особенно велика. Именно постоянное совершенствование технологии полупроводниковых приборов привело на определенном этапе ее развития к созданию ИС, а в дальнейшем — к широкому их производству.
Производство ИС началось примерно с 1959 г. На основе предложенной к этому времени планарной технологии. Основой планарной технологии послужила разработка нескольких фундаментальных технологических методов. Наряду с разработкой технологических методов развитие ИС включало исследования принципов работы их элементов, изобретение новых элементов, совершенствование методов очистки полупроводниковых материалов, проведение их физико-химических исследований с целью установления таких важнейших характеристик, как предельные растворимости примесей, коэффициенты диффузии донорных и акцепторных примесей и др.
За короткий исторический срок современная микроэлектроника стала одним из важнейших направлений научно-технического прогресса. Создание больших и сверхбольших интегральных микросхем, микропроцессоров и микропроцессорных систем позволило организовать массовое производство электронных вычислительных машин высокого быстродействия, различных видов электронной аппаратуры, аппаратуры управления технологическими процессами, систем связи, систем и устройств автоматического управления и регулирования.
Микроэлектроника продолжает развиваться быстрыми темпами, как в направлении совершенствования полупроводниковой интегральной технологии, так и в направлении использования новых физических явлений.
Часть I. ............
