Нижегородский Государственный Университет Им. Н.И.Лобачевского Экономический факультет Кафедра технологии производства КУРСОВАЯ РАБОТА Тема : Производство кристалла 564ИЕ10
    Выполнил : Жибоедов И.В.
    ЦЭП 98а Нижний Новгород 1999 С О Д Е Р Ж А Н И Е
    1. Введение...................................................................................................3
    2. Маршрут изготовления кристалла 564ИЕ10..........................3
    2.1 Операция спецокисление...............................................................6
    2.1.1 Оборудование........................................................................6 2.1.2 Подготовка рабочего места и организация
    трудового процесса...........................................................6
    2.1.3 Технологический процесс...................................................8
    2.2 Операция удаление фоторезиста в смеси Каро.......................9
    2.2.1 Оборудование.........................................................................9
    2.2.2 Требования безопасности..................................................9 2.2.3 Подготовка рабочего места и организация
    трудового процесса.........................................................10 2.2.4 Технологический процесс..................................................12
    3. Контроль электрических параметров кристалла................13
    3.1 Оборудование..................................................................................13
    3.2 Алгоритм программы разбраковки..........................................13
    Список используемой литературы...................................................14 1. Введение Микросхема 564ИЕ10 Микросхема содержит два отдельных четырехразрядных двоичных счетчика. Триггеры каждого из них устанавливаются в исходное состояние (нулевое) при подаче уровня 1 на вход R. Триггеры счетчиков 564ИЕ10 переключаются в момент спада импульсов положительной полярности на входе СР при уровне 0 на входе CN. Возможна подача импульсов отрицательной полярности на вход CN при уровне 1 на входе СР. Таким образом, входы CP и CN объединены логической функцией И. При соединении микросхем 564ИЕ10 в многоразрядный счетчик с последовательным переносом выводы 8 подключаются к входам СР следующих, а на входы CN подают уровень 0. На счетчике 564ИЕ10 можно собрать делитель частоты с коэффициентом деления от 2 до 15. Рис.1. Графическое изображение Рис. 2. Временная диаграмма
    МС 564ЕИ10 работы счетчика 564ИЕ10 2. Маршрут изготовления кристалла 564ИЕ10 1. Формирование партии пластин. 2. Гидромеханическая отмывка пластин. 3. Химическая обработка.
    Смесь Каро (H2SO4+H2O2), перикисьно-амиачная смесь.
    Оборудование - линия "Лада 125". 4. Окисление 1.
    Установки СДОМ, АДС. Температура 1000ОС. О2+пар. 5. Фотолитография. Формирование области р-кармана. 5.1. Нанесение фоторезиста. Фоторезист - ФП383. Установка ХБС. 5.2. Совмещение экспонирования пластин ЭМ - 576А. 5.3. Проявление фоторезиста. Проявитель - едкий калий. 5.4. Дубление фоторезиста. Установки "Лада". 5.5. Травление окисной пленки. Буферный травитель. 5.6. Контроль. 6. Ионное легирование. Бор 1.
    "Карман". Установка "Лада 30". 7. Снятие фоторезиста. 7.1. Плазма. Установка "08 ПХО 100Т-001" 7.2. Смесь Каро. 8. Химическая обработка. 9. Разгонка бора. "Карман".
    Температура 1200ОС. О2+азот. 10. Вторая фотолитография.
    Формирование областей сток- исток р-канальных
    транзисторов и р+-охраны. 11. ............