Часть полного текста документа:СОДЕРЖАНИЕ ВВЕДЕНИЕ. 2 ОСНОВНАЯ ЧАСТЬ. 4 1.1. МЕТОДЫ ПОЛУЧЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ СОЕДИНЕНИЙ. 4 1.1.1. Выращивание монокристаллов из растворов. 4 1.1.2. Выращивание монокристаллов из паровой фазы. 9 Метод конденсации паров компонентов. 10 Метод диссоциации или восстановления газообразных соединений 13 Метод реакций переноса 16 Методы переноса в протоке. 19 1.2. СОЕДИНЕНИЯ A11 BVI . ОБЩИЕ СВОЙСТВА. 21 1.3.ПОЛУЧЕНИЕ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ МОНОКРИСТАЛЛОВ СОЕДИНЕНИЙ ТИПА АIIBVI. 26 Технология синтеза и выращивания монокристаллов с определенными свойствами. 29 ЗАКЛЮЧЕНИЕ. 33 Список используемой литературы. 34 Приложение. ВВЕДЕНИЕ. При разработке технологии выращивания монокристаллов любого полупроводникового материала определяют: 1) условия, при которых обеспечивается надежное получение монокристаллов с заданной кристаллографической ориентацией, с оптимальными размерами и стехеометрической формой; 2) влияние условий выращивания монокристаллов на возникновение в них линейных и точечных дефектов, 3) условия введения в растущий кристалл легирующих примесей и зависимость их концентрации и распределения в объеме монокристалла от условий выращивания; 4) влияние примесей на возникновение в монокристаллах различных структурных несовершенств, а также влияние структурных дефектов на характер распределения примесей. Для выращивания монокристаллов можно использовать процессы кристаллизации из расплавов, из паровой фазы или из растворов кристаллизующегося вещества в соответствующем растворителе. Во всех этих случаях механизм роста кристалла, т. е. механизм присоединения атомов питающей фазы к растущему кристаллу, подчиняется законам повторимого роста. Между кристаллом и окружающей его средой всегда существует переходный слой, который образует физическую границу раздела фаз. Все атомы или молекулы, переходящие из одной фазы в другую, некоторое время находятся в том слое, в котором происходят процессы, обусловливающие рост кристалла. Так, например, при выращивании монокристаллов многих полупроводниковых материалов атомы кристаллизующегося вещества выделяются в результате гетерогенной химической реакции, происходящей на поверхности растущего кристалла. При этом в переходном слое устанавливаются сложные химические равновесия, малейшие отклонения от которых вызывают резкие локальные изменения в кинетике роста. Таким образом, состав и природа питающей фазы в значительной мере определяют кинетику роста, а изменения состава и внешних условий - возникновение различных несовершенств. Выбор метода выращивания монокристаллов каждого данного вещества основывается в первую очередь на изучении его физических и химических свойств. ............ |